何謂LIGA
透過X光深刻及電鑄製造精密模具,再大量複製微結的特殊製程,LIGA是德文(Lithographie GalVanoformung Abformung)之縮寫,譯成英文則為Lithography Electroforming Micro Molding 譯成中文則為X光微影,微電鑄,微成型也就是X光深刻精密電鑄模造成形,通常簡稱為光刻電鑄模造或光刻模造。
LIGA製程源自德國核能研究所,1980年初期所發展出來用以製造微結構的技術。它結合X-Ray深刻術(Deep X-Ray Lithography)電鑄翻模(Micro Electroforming)及精密射出(Micro-Injection),熱壓成型(Micro-Embossing)技術,適合量產高深寬比(Aspect Ratio)低表面粗糙度(Sub μm),垂直側壁的微結構,且材料的應用範圍廣泛,可製造金屬及塑膠的微結構。
這些技術的特點使得LIGA被公認為最具有技術潛力,開發高深寬比,高精度之2D,3D微結構元件及微系統元件。