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[供应] 自动白光干涉仪SIS 2000

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发表于 2012-11-6 16:53 | 显示全部楼层 |阅读模式

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产品介绍
   白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术,是智泰集团专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商,LPL友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。

产品特点
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。

应用领域
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工

附件
水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等
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